曝光方式

汞灯蝇眼曝光：

＊光源：采用GCQ350Z型超高压水银直流汞灯。

＊照明范围：≤ф230mm

光的不均匀性在φ230mm范围内≤±10%；

＊可使用的波长：g线、h线、I线的组合。根据用户要求，可增加I线滤光片。

＊成象面照明：光照度10～15毫瓦/厘米²,任意可调(出厂时,照明度调在10mw/cm²)。 

技术指标

1、配置壹件承片台。（承片台具体尺寸可根据用户需求制造）

2、分辨率≥5μm 

3、具备真空吸片功能

4、具有真空密着和反吹气的功能，通过调节密着真空的大小可以实现硬接触曝光（密着真空≤-0.05 Mpa）、软接触曝光(密着真空在-0.05Mpa～-0.02Mpa之间)和微力接触曝光（密着真空≥-0.02Mpa）

主要配置

＊多点光源曝光头1台、曝光类型：一次性曝光

＊曝光面积：≥φ230mm                     ＊曝光不均匀性：≤±10%

＊曝光强度：≥5mw                         ＊曝光分辨率：≤5μm

＊曝光模式：单面曝光

＊掩膜版尺寸： 3″、4″、5″、6″、7″、8″、9″

＊基片厚度：≤5 mm                         ＊曝光灯功率：350W

＊曝光定时：0～999.9秒可调              ＊电源：单相AC 220V 50Hz功耗≤1kW

＊洁净压缩空气压力：≥0.4Mpa              ＊真空度：-0.07Mpa～-0.09Mpa

＊尺寸：700×650×1200 (L×W×H)mm

＊重量：～110kg                        ＊辅助配件：真空泵一台，φ8气管15米