曝光方式

多点曝光：

＊出射光斑≤230mm；350W（高压直流汞灯）

＊光的不均匀性在φ230mm范围内≤±10%；

＊实现真空密着条件下曝光

＊曝光时间，通过0.1～999.9秒时间继电器设定

＊汞灯位置调节可通过精密的x、y、z调节装置调节，调节量为x向±5毫米、y向±5毫米、z向±5毫米

＊具有风扇冷却装置

技术指标

1、配置壹件承片台。（承片台具体尺寸可根据用户需求制造）

2、分辨率≥5μm 

3、具备真空吸片功能

4、具有真空密着和反吹气的功能，通过调节密着真空的大小可以实现硬接触曝光（密着真空≤-0.05 Mpa）、软接触曝光(密着真空在-0.05Mpa～-0.02Mpa之间)和微力接触曝光（密着真空≥-0.02Mpa）

主要配置

＊多点光源曝光头1台、曝光类型：一次性曝光

＊曝光面积：≥φ230mm                     ＊曝光不均匀性：≤±10%

＊曝光强度：≥5mw                         ＊曝光分辨率：≤5μm

＊曝光模式：单面曝光

＊掩膜版尺寸： 3″、4″、5″、6″、7″、8″、9″

＊基片厚度：≤5 mm                         ＊曝光灯功率：350W

＊曝光定时：0～999.9秒可调              ＊电源：单相AC 220V 50Hz功耗≤1kW

＊洁净压缩空气压力：≥0.4Mpa              ＊真空度：-0.07Mpa～-0.09Mpa

＊尺寸：700×650×1200 (L×W×H)mm

＊重量：～110kg                        ＊辅助配件：真空泵一台，φ8气管15米