16A伺服匀胶机


 

概述

16A伺服匀胶机主要用于光刻胶涂布、涂硼等工艺过程，该设备具有匀胶效率高，使用方便等特点。其匀胶速度、时间分多个时段，并分别无级可调。

电器线路可靠，电机运转平稳，特别是电机转矩大，优于同类产品。

吸片采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率。

主要技术参数

工作电源：AC200-230V，单相，200W；

装片直径：10/20/30....100mm，选择两只；

程序组：1-5段（编辑页面），12组；

匀胶时间：3000S,分辨率0.1S；

速度范围：100-10000RPM；

速度修正：通过A/K选择Kx试运行可自动修正转速，再回到Kx使用

加速度（空载）：100-5000RPM/S  分辨率1RPM/S ；

外形尺寸：250mm(W)x420mm(D)x230mm(H)不含锅的高度；

重量 ：匀胶机14KG，选配件真空泵5KG；

真空输入要求：0.06-0.09MPa，真空流量最小15升/Min以上；

真空接口：自带6mm管1米；  

需要修改程序结束后的真空释放时间，防止最后飞片；

需要脚踏启动，自动打开真空阀；

需要加速度调节，大小轻重物品全适应；

需要微调转速，使实际转速与设定值相同，使用K1-K8，KUTO模式；

操作步骤

接通外部真空系统，接通外电源，打开电源开关，用【工艺参数】键，选择“A1”，若需要修改速度和时间，按一下【运行修改】键，结合【↑】【↓】键,再用【+】【-】键调速度和时间至工艺要求，若有实际转速误差，有微调的办法。

放基片于吸盘中心处，打开红色真空开关，检查基片是否吸牢，（严禁对小于吸盘抽气槽外圆的基片涂胶）。将适量光刻胶滴于基片中心处，按下绿色匀胶开关，。。。。。。(有异常情况，可按一下绿色的匀胶启动按钮，吸盘将停止)等待电机停止转动后，关闭真空、取片。

3.   根据光刻胶的粘度和工作环境温度选择适当转速，一般匀胶时间大约5~20秒之间。

4.   将匀过胶的玻璃片立放在玻璃卡盘上放入金属盒中，根据胶的要求放入温箱进行前烘，一般的光刻胶前烘温度90℃30分钟。

5.   匀胶机必须关闭上盖后启动、匀胶机转动时严禁用手触摸。用手去抓匀胶机吸盘，能导致本机保护，需返厂处理，请知悉。

注意事项

严禁对小于吸盘抽气槽外圆的基片涂胶。设备用完请取下吸盘，防止胶液黏住吸盘

定期清理接胶盘中的胶液，防止液位过高，灌入电机。

根据具体工作环境，定期检查真空管路，定期清理电磁阀，使机器保持正常状态。

检修时应切断电源！！！

成套供应单

匀胶机主机   一台

接胶盘    对应吸盘的尺寸

配套吸盘   2只

真空泵  自备或者我店铺内无油真空泵