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2024-12
光刻机详解
光刻机是半导体制造过程中至关重要的设备之一，主要用于将微小的电路图案从光掩模转移到硅片上的光刻胶层中，从而形成集成电路（IC）的结构。光刻技术是半导体 ...
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2024-12
mems光刻机
MEMS光刻机（Micro-Electro-Mechanical Systems Lithography Machine）是用于制造微机电系统（MEM ...
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2024-12
7纳米的光刻机
随着半导体技术不断向更小的工艺节点发展，7纳米（nm）制程成为当前主流的先进制造技术之一。为了满足7纳米及以下制程节点的需求，光刻机作为半导体制造过程 ...
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2024-12
光刻机封装
光刻机封装（Lithography Machine Packaging）是指在半导体制造过程中，光刻机内部各个组件的保护、连接和密封技术。1. 光刻机 ...
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2024-12
光刻机的光源
光刻机的光源是半导体制造过程中至关重要的组成部分，直接影响到图案转移的分辨率和制造精度。光刻技术通过将芯片设计图案从光掩模投射到硅片上的光刻胶层中，而 ...
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2024-12
duv光刻机制程
DUV光刻机（Deep Ultraviolet Lithography） 是一种使用深紫外光源的光刻技术，在半导体制造中广泛应用于芯片生产的不同工艺节 ...
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2024-12
微米光刻机
微米光刻机（Micron Lithography Machine）是用于微米级别集成电路（IC）和微纳米结构制造的精密设备。随着半导体制造工艺的不断进 ...
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2024-12
immersion光刻机
浸没式光刻机（Immersion Lithography Machine） 是一种利用液体介质来提高光刻分辨率的光刻技术。它是在传统的干式光刻技术基础 ...
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2024-12
nxt1980di光刻机
NXT 1980DI光刻机 是由荷兰ASML公司生产的先进光刻设备，属于其NXT系列中的一款浸没式光刻机（Immersion Lithography ...
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2024-12
光电光刻机
光电光刻机（Optoelectronic Lithography Machine）是一种结合了光学和电子学技术的光刻设备，广泛应用于半导体、微电子、光 ...