CPU光刻机的价格因多种因素而异，包括技术水平、性能要求、生产能力、附件配置和服务支持等。在目前市场上，CPU光刻机的价格通常在数百万美元至数千万美元之间，这取决于光刻机的规格和功能。

技术水平和性能要求

制程技术： CPU制造的工艺节点决定了光刻机的技术要求。例如，随着制程节点的推进，对分辨率和精度的要求也越来越高，因此相应的光刻机技术也需要更加先进。

投射方式： 光刻机的投射方式也会影响价格。目前市场上常见的光刻机有DUV（深紫外）光刻机和EUV（极紫外）光刻机两种，EUV技术通常更先进、成本更高。

生产能力和产能需求

每小时生产能力： 光刻机的每小时生产能力是衡量其效率的重要指标之一。高产能的光刻机通常价格更高，但能够满足大规模生产的需求。

多机联动： 有些企业会购买多台光刻机进行联动生产，这样可以提高生产效率和产能，但也会增加投资成本。

附件配置和服务支持

附件配置： 光刻机的附件配置包括光刻模板、光刻胶、光刻化学品等，不同配置的附件会影响到成本。

服务支持： 光刻机的售后服务和技术支持也是考虑购买成本的因素之一。一些厂商提供的售后服务包括培训、维修保养和技术支持等，这些服务会影响到光刻机的总体成本。

市场竞争和供需关系

市场竞争： 光刻机市场竞争激烈，不同厂商间的价格竞争也在一定程度上影响着光刻机的价格水平。

供需关系： 光刻机的供需关系也会影响价格。当市场需求旺盛时，光刻机的价格可能会上涨；反之，市场需求不足时，价格可能会下降。

综上所述，CPU光刻机的价格受多种因素影响，包括技术水平、生产能力、附件配置和市场竞争等。购买者需要根据自身需求和预算进行选择，同时也需要考虑到光刻机的长期投资价值。