5纳米（5nm）光刻机是当前半导体行业中的先进设备，其价格取决于多种因素，包括制造商、技术水平、配置和市场竞争等。

制造商和品牌：光刻机的价格通常受制造商和品牌的影响。主要的光刻机制造商包括ASML、Nikon、Canon等。这些制造商拥有不同的技术实力和市场份额，其生产的光刻机在性能和品质上也存在差异，因此价格也会有所不同。

技术水平和性能要求：5nm光刻机通常需要具备先进的技术水平和高性能，以满足微小尺寸芯片的制造需求。更先进的技术和更高的性能意味着更高的成本，因此这些光刻机的价格可能相对较高。

配置和附加功能：光刻机的价格还取决于其配置和附加功能。例如，一些高端的5nm光刻机可能配备了更先进的光学系统、更大的曝光区域、更高的自动化程度等，这些额外的配置和功能可能会增加设备的价格。

市场竞争和供需关系：市场竞争和供需关系也会影响光刻机的价格。如果市场竞争激烈或者供应过剩，制造商可能会通过降低价格来吸引客户。相反，如果市场需求超过供应，光刻机的价格可能会上涨。

附加服务和支持：光刻机的价格还可能包括一些附加服务和支持，如培训、维护、保修、升级等。这些服务和支持也会对最终价格产生影响。

综上所述，5nm光刻机的价格是受多种因素影响的，需要综合考虑制造商、技术水平、配置、市场竞争和附加服务等因素。在购买光刻机时，企业需要进行充分的市场调研和评估，选择最适合自身需求和预算的设备。