1微米光刻机的价格是受多种因素影响的，因此难以给出具体的数字。光刻机的价格取决于多个因素，包括制造商、技术水平、配置、性能要求、市场竞争情况等。

制造商： 光刻机的价格与制造商密切相关。通常来说，知名的光刻机制造商如ASML、Nikon、Canon等生产的设备价格较高，因为他们在光刻技术和市场上拥有领先地位。而一些地区性的或新兴的光刻机制造商可能提供更具竞争力的价格。

技术水平： 光刻机的价格还与其技术水平密切相关。先进的技术通常意味着更高的价格，因为它们可能涉及到更复杂的制造过程和更先进的材料。相比之下，传统的或较低分辨率的光刻机可能价格较低。

配置和性能要求： 光刻机的配置和性能要求也会影响其价格。例如，光刻机的曝光速度、分辨率、精度、自动化程度等都会影响价格。高性能和高精度的光刻机通常价格更高。

市场竞争： 市场竞争情况也会影响光刻机的价格。在竞争激烈的市场上，制造商可能会降低价格以吸引客户，特别是在大型订单或长期合同中。因此，市场供需关系和竞争态势也会对价格产生影响。

附加服务和支持： 光刻机价格可能还包括一些附加服务和支持，如培训、维护、保修、升级等。这些服务和支持也会对最终价格产生影响。

综上所述，1微米光刻机的价格是受多种因素影响的，需要根据具体的需求和情况来确定。在购买光刻机时，需要综合考虑制造商声誉、技术水平、性能要求以及价格等因素，选择最适合的设备。