极紫外（EUV）光刻机是半导体制造业中最先进和最昂贵的光刻设备之一。EUV技术利用波长极短的紫外光进行曝光，能够实现极高的分辨率和制程精度，因此被视为下一代半导体芯片制造的关键技术之一。EUV光刻机的价格非常昂贵，一套EUV光刻机的价格通常在数十亿美元以上。

型号和配置： EUV光刻机具有多种型号和配置，价格取决于其技术水平、性能和功能。不同型号和配置的EUV光刻机价格可能存在差异，高端型号和配置通常价格更高。

制造商： 目前主要生产EUV光刻机的制造商是荷兰ASML公司。ASML公司在EUV技术的研发和应用方面处于领先地位，其产品具有较高的市场份额和垄断地位。因此，ASML公司生产的EUV光刻机价格相对较高。

市场供需关系： EUV光刻机是一种稀缺资源，供应受到限制，而市场需求持续旺盛。这种供需关系推动了EUV光刻机价格的上涨。

未来发展前景： 随着半导体技术的不断进步和市场需求的增加，EUV光刻机的价格有望继续上涨。这是因为EUV技术将会成为未来芯片制造的主要技术之一，对EUV光刻机的需求将会持续增加。

配套服务和支持： ASML公司提供全方位的售后服务、培训和技术支持，以确保客户充分利用其设备。这些服务和支持也会影响到EUV光刻机的价格。

综上所述，EUV光刻机价格取决于多种因素的综合影响。尽管价格高昂，但EUV光刻机是制造极小尺寸芯片的关键设备，对于半导体行业的发展至关重要。购买者需要进行全面的成本效益分析，并考虑未来的技术发展和市场趋势，以确保投资的长期可持续性。