小型光刻机价格因制造商、型号、配置和用途等因素而异。相对于大型光刻机，小型光刻机的价格通常更为经济实惠，一般在数十万美元至数百万美元之间，但具体价格取决于多个因素。

型号和配置： 小型光刻机具有不同的型号和配置选项，包括分辨率、曝光速度、自动化程度等。配置越高的小型光刻机价格可能会相应较高。

制造商： 不同制造商生产的小型光刻机价格可能存在差异。知名制造商通常会定价较高，而新兴或地区性的制造商可能提供更具竞争力的价格。

技术水平： 小型光刻机的技术水平也会影响价格。采用先进技术和高精度制造的小型光刻机可能价格较高，而较为简单或老旧的技术则可能价格较低。

市场需求和供应： 光刻机市场需求和供应关系也会对价格产生影响。供应充足而需求不足可能会导致价格下降，而供应紧张或需求旺盛则可能会推动价格上涨。

配套服务和支持： 一些制造商可能会提供额外的配套服务和支持，如售后服务、培训和技术支持等，这些服务可能会对光刻机的价格产生影响。

总的来说，小型光刻机价格相对较为经济实惠，但购买者在选择光刻机时需要综合考虑性能、质量、服务和价格等方面的因素，以确保选择到最适合自己需求的设备。虽然价格较低，但也要注意小型光刻机的性能和稳定性是否满足应用需求。对于一些需要高精度和高效率的应用，可能需要选择性能更优越的高端设备，尽管价格会相对较高。