荷兰光刻机制造商ASML是目前世界上唯一可以量产EUV光刻机的公司。ASML的EUV光刻机价格非常昂贵，每台的价格约为1.5亿美元。
ASML的EUV光刻机价格高昂的原因主要有以下几点：
光源的研发和制造成本高昂：EUV光刻机使用的光源是极紫外光（EUV），波长为13.6nm。EUV光源的产生需要采用复杂的技术，目前仅有ASML能够量产EUV光源。
光学系统的研发和制造成本高昂：EUV光刻机的光学系统需要具有极高的光学性能，才能满足高分辨率的要求。EUV光学系统的研发和制造难度极高。
工艺制造成本高昂：EUV光刻机的制造工艺复杂，需要采用先进的制造工艺。EUV光刻机的制造成本也非常高。
此外，ASML还会根据客户的需求提供定制服务，这也会导致光刻机的价格有所增加。
中国光刻机的价格
中国正在积极推进EUV光刻机的研发和生产。目前，中国已有多家公司在研发EUV光刻机。
中国光刻机的价格尚未公布，但预计将会低于ASML的EUV光刻机。
光刻机的未来价格
随着光刻机技术的不断发展，光刻机的价格将会有所下降。这是因为光源、光学系统和工艺制造等技术的成本将会降低。
预计在未来几年内，光刻机的价格将会下降到1亿美元以下。这将使更多企业能够获得EUV光刻机，推动集成电路产业的发展。
